안녕하세요,

재료공학과 연구실에서 연구를 하고 있는 대학원생입니다.

항상 좋은 답변 해주셔서 많은 도움을 받고 있습니다.


제가 이번에 Arcing 관련 이슈를 공부하고 있는데,


1. DC plasma에서의 arcing과 RF plasma에서의 arcing사이에 어떤 차이가 있는지 궁금합니다.

그리고,

2. RF plasma에서 발생하는 arcing을 줄일 수 있는 방법에는 어떠한 것들이 있는지도 궁금합니다.


감사합니다.



번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [283] 77219
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20468
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57362
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68902
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92950
85 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 2003
84 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] 3038
83 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] 527
82 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 768
81 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 1681
80 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 1227
79 Plasma Generator 관련해서요. [1] 914
78 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 521
77 RF 변화에 영향이 있는건가요? 17516
76 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] 1642
75 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 472
74 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 770
» RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 3463
72 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1792
71 Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] 1992
70 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 821
69 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 799
68 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2689
67 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 578
66 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1916

Boards


XE Login