공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[276]
| 76871 |
공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 20273 |
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
| 57199 |
공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
| 68751 |
공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
| 92694 |
122 |
CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요?
[3] | 3561 |
121 |
RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때
[1] | 874 |
120 |
CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계
[1] | 2289 |
119 |
anode sheath 질문드립니다.
[1] | 1000 |
118 |
라디컬의 재결합 방지
[1] | 806 |
117 |
PECVD와 RIE의 경계에 대해
[1] | 1467 |
116 |
PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다.
[1] | 3330 |
115 |
CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응
[1] | 989 |
114 |
플라즈마 챔버
[2] | 1257 |
113 |
안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다.
[1] | 1676 |
112 |
ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!!
[1] | 1355 |
111 |
Plasma arcing 관련하여 문의드립니다.
[1] | 1370 |
110 |
ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다.
[2] | 818 |
109 |
연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생
[1] | 1508 |
108 |
좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다.
[2] | 16668 |
107 |
교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다.
[2] | 2336 |
106 |
안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다.
[2] | 2491 |
105 |
챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다.
[3] | 4525 |
104 |
CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다.
[3] | 3756 |
103 |
H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련
[1] | 436 |