ATM Plasma 대기압 플라즈마

2011.03.20 23:03

김기수 조회 수:40718

안녕하세요
대기압 플라즈마 장비를 관리를 하는데
세라믹에 아크가 발생하여
세라믹이 구멍이 나면서 크랙이 갑니다.
원인을 자세히 설명 부탁드립니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 77073
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20387
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57297
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68844
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92849
238 ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1] 24774
237 [질문] Plasma density 측정 방법 [1] 22706
236 [질문] 석영 parts로인한 특성 이상 [1] 19846
235 상압 플라즈마 방전에 관한 문의 [1] 20314
234 RF Plasma(PECVD) 관련 질문드립니다. 31692
233 [질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [3] 24372
232 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23348
231 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22953
» 대기압 플라즈마 40718
229 반도체 관련 질문입니다. 28581
228 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [1] 47947
227 Sputter 시에 Gas Reaction 에 대해 문의 드립니다. 20214
226 플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [1] 16046
225 H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. [2] 19442
224 [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문에 대한 답변 드립니다. file 30100
223 [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. 17207
222 ECR plasma 장비관련 질문입니다. [2] 34966

Boards


XE Login