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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68900
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25 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 522
24 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 519
23 plasma striation 관련 문의 [1] file 500
22 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 472
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20 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 443
19 ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [1] 392
18 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [1] 351
17 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] 273
16 ICP에서의 Self bias 효과 [1] 255
15 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [2] 245
14 skin depth에 대한 이해 [1] 226
13 CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [2] file 220
12 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [1] file 200
11 ICP에서 전자의 가속 [1] 189
10 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] 154
9 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] 143
8 Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [1] 122
7 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] 118
6 Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. 118
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