Matcher 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~

2019.08.06 11:00

정혜민 조회 수:5129

matcher를 봤을 때 직렬은 tune 병렬은 load라 튠값으로는 리액턴스를 로드 값으로는 저항성분에 대해 알 수 있다고 알고 있는데요

가끔 로드랑 튠 값이 흔들리고 산포가 좋지 않을 때가 있다합니다. 이렇게 값들이 흔들리는 이유로는 전체적으로 뭐가 있을까요?

또 plasma를 켰을 떄 매쳐의 로드와 튠 값에 영향을 주는 이자들은 무엇들이 있을까요?

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [282] 77208
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20465
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57361
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68900
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92946
86 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 975
85 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 5633
84 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 866
83 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1724
82 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2601
81 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 554
80 알고싶습니다 [1] 1488
79 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2858
78 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1624
77 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 3320
76 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 4016
75 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 3746
74 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 10571
73 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 861
72 임피던스 매칭회로 [1] file 2848
71 대학원 진학 질문 있습니다. [2] 1180
70 chamber impedance [1] 2030
» 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 5129
68 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 6316
67 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 3245
쓰기
태그

Boards

XE Login