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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[279]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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681 |
OES 파장 관련하여 질문 드립니다.
[1] | 620 |
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680 |
PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다!
[1] | 1929 |
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679 |
plasma striation 관련 문의
[1]  | 492 |
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678 |
Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다.
| 558 |
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677 |
주파수 변화와 Plasma 온도 연관성
[1] | 640 |
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676 |
Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동
[1] | 560 |
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675 |
RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계
[1] | 1200 |
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674 |
Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다.
[1] | 1238 |
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673 |
Plasma Arching
[1] | 1085 |
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672 |
Polymer Temp Etch
[1] | 693 |
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671 |
CCP Plasma 해석 관련 문의
[1] | 1030 |
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670 |
AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제
| 503 |
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669 |
플라즈마 관련 교육
[1] | 1420 |
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668 |
반도체 관련 플라즈마 실험
[1] | 1333 |
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667 |
스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항
[1] | 463 |
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666 |
방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다.
[1] | 817 |
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665 |
Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다
[1] | 902 |
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664 |
RF 파워서플라이 매칭 문제
| 839 |
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663 |
CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다.
[1] | 5215 |
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662 |
RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유
[1] | 1275 |
