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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다!
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공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..?
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Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성
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RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다.
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구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다.
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low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜.
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electron energy distribution에 대해서 질문드립니다.
[2] | 3242 |
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안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다.
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RIE에서 O2역할이 궁금합니다
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Decoupled Plasma 관련 질문입니다.
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플라즈마 용어 질문드립니다
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압력과 플라즈마 크기의 관계가 궁금합니다.
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Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문
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플라즈마 기술관련 문의 드립니다
[1] | 6419 |
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플라즈마볼 제작시
[1] | 2249 |
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Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요
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PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다.
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플라즈마 PIC 질문드립니다.
[1] | 10386 |
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진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해
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