플라즈마 응용 연구실의 질문방에 오신 것을 환영합니다! 이 Q&A 게시판에는 2004년부터 플라즈마에 대해 받은 질문과 그 대답이 정리되어 있습니다. 이 방대한 자료 속에서 자신에게 필요한 내용을 더 쉽고 빠르게 찾기 위한 방법을 알려드리겠습니다.

 

 

1. 키워드로 검색하기

 

내게 필요한 정보를 빠르게 찾기 위해서는 먼저 검색창을 이용해봅시다.

 

QA 길잡이 1.png

 

 

위 그림과 같이 질문방 화면 좌측 하단에는 돋보기 아이콘이 있습니다. 이 돋보기 아이콘을 클릭하면 다음과 같이 검색창이 나타납니다.

 

QA 길잡이 2.png

 

자신이 궁금한 내용의 핵심 키워드를 이 검색창에 입력하여 검색해보면 자신이 가진 질문과 유사한 질문 및 그에 대한 답변을 찾을 수 있을 것입니다.

 

 

2. 내용으로 찾아보기

 

QA 길잡이 3.png

 

질문방에 들어오면 위 그림과 같이 여러 개의 탭에 따라 질문과 답변이 분류되어 있는 것을 볼 수 있습니다. 여기서 맨 위의 큰 탭 5개가 Plasma in general 부터 Process까지의 대분류 5가지를 나타내고 있습니다. 한 대분류를 클릭했을 때 대분류 아래에 나타나는 작은 탭들은 그 대분류에 속하는 소분류를 나타내고 있습니다. 만약 키워드 검색만으로는 자신에게 필요한 내용을 찾지 못하였다면, 자신의 질문과 관련된 내용이 있는 탭의 게시물들을 읽어보며 자신에게 필요한 내용을 찾아볼 수 있을 것입니다.

 

아래의 표에는 각 대분류 별 소분류 및 세부 분류가 정리되어 있습니다. 이 글의 첨부 파일 QA_분류_정의및설명.pdf에는 각 분류에 대한 상세한 설명과 참고할 만한 자료가 정리되어 있으니, 부디 첨부파일을 내려받아 읽어보시기 바랍니다.

 

연구 또는 궁금증 해결에 도움이 되는 내용을 찾을 수 있기를 바랍니다.

 

QA category 1.png

 

QA category 2.png

 

QA category 3.png

 

QA category 4.png

 

QA category 5.png

 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] 76868
» Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20273
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57199
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68751
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92693
617 anode sheath 질문드립니다. [1] 1000
616 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 732
615 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 718
614 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1467
613 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 2010
612 라디컬의 재결합 방지 [1] 805
611 LF Power에의한 Ion Bombardment [2] 2066
610 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 1467
609 전자 온도 구하기 [1] file 1148
608 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 324
607 CVD 공정에서의 self bias [1] 3149
606 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 3330
605 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 1130
604 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1864
603 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1435
602 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 1095
601 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 989
600 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 1771
599 [Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련] [3] 2803
598 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 1876

Boards


XE Login