Matcher CURRENT PATH로 인한 아킹

2023.08.22 11:19

생렬 조회 수:402

안녕하세요.교수님

 

이번에 설비사에서 Matcher Plate에 Matcher를 장착할 때 Plate와 Matcher 바닥면 사이 약간의 유격이 있는 상태에서 볼트로 체결하고 RF Power 13.56MHz 2kW 인가 해서 Output 커넥터(20PI 소캣타입)에 아킹이 발생 하였습니다. (크리피지 길이는 충분합니다.)

볼트로 체결하면서 Plate와 Matcher 사이는 완전이 붙었다곤 하지만 제생각엔 완전 면접촉 상태가 아니고 점접촉 상태에서 CURRENT PATH 때문에 아킹이 발생 한 것 같은데 이 원리를 이론적으로 잘 모르겠더라구요..

 

답변 부탁드립니다

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] 76875
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20274
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57199
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68752
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92698
757 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] 421
756 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [1] 191
755 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] 268
754 PECVD Uniformity [1] 546
753 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] 659
752 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] 255
751 standing wave effect, skin effect 원리 [1] 393
750 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] 317
749 RF 주파수에 따른 차이점 [1] 737
748 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 415
747 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 797
746 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 786
745 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] 482
744 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 324
743 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 298
742 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] file 516
» CURRENT PATH로 인한 아킹 [1] file 402
740 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] 511
739 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] 709
738 remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] 628

Boards


XE Login