Matcher RF 파워서플라이 매칭 문제
2022.07.21 23:00
안녕하세요? 현재 연구실에서 반응성 스퍼터링으로 TiO2 박막을 실험하고 있습니다.
연구실에서 사용하는 RF스퍼터 장비에는 오토매처가 있어 파워 인가 시 자동으로 임피던스 매칭을 수행합니다.
매처는 일반적인 장비로써 Load/Tune capacitor가 내장되어있습니다.
현재 RF 파워의 매칭 시간이 너무 긴 문제가 있습니다.
매칭이야 조건을 찾는 과정이니 시간이 걸릴 수 있겠지만, 매칭 시간만 1시간이 넘게 걸리고, 무엇보다 공정 조건이 같은데도 매칭이 이루어지는데 점점 오래 걸리고 있습니다.
반응 가스는 고순도 O2를 사용 중에 있으며, 순도는 용접용이어서 낮지 않습니다.
만일 매칭에 방해가 되는 요인이 있다면 어떤 요인이 있는 지 알고 싶습니다.
감사합니다.
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [281] | 77177 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20452 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57350 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68888 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92926 |
| 42 | 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 | 88 |
| 41 | PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] | 608 |
| 40 | RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] | 819 |
| 39 |
CURRENT PATH로 인한 아킹
[1]  | 420 |
| 38 | 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] | 374 |
| 37 | Plasma Arching [1] | 1090 |
| » | RF 파워서플라이 매칭 문제 | 841 |
| 35 | RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] | 1023 |
| 34 | Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] | 1586 |
| 33 | 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] | 1293 |
| 32 | RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. | 1479 |
| 31 | 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] | 1920 |
| 30 | 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] | 2413 |
| 29 | RF 반사파와 이물과의 관계 [1] | 1143 |
| 28 | Load position 관련 질문 드립니다. [1] | 2469 |
| 27 | Interlock 화면.mag overtemp의 의미 | 593 |
| 26 | Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] | 4006 |
| 25 | matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] | 10548 |
| 24 | 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] | 858 |
| 23 |
임피던스 매칭회로
[1] | 2842 |