번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [280] 77170
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20450
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57349
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68888
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92922
184 플라즈마 식각 커스핑 식각량 53
183 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [1] 67
182 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] 79
181 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] 81
180 sputtering 을 이용한 film depostion [1] 161
179 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [1] file 194
178 FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 200
177 AP plasma 공정 관련 문의 [1] 216
176 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [1] 226
175 Cu migration 방지를 위한 스터디 [1] 243
174 Compressive한 Wafer에 대한 질문 [1] 244
173 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 263
172 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] 278
171 Etch Plasma 관련 문의 건.. [1] 283
170 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 299
169 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 309
168 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 341
167 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] 378
166 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메카니즘에 대해 질문하고싶습니다. [1] 379
165 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 405
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