Sputtering 몇가지 질문있습니다

2009.11.10 20:51

정세훈 조회 수:16580 추천:139

안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
답변부탁드립니다

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 76995
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20340
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57263
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68806
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92807
23 sputtering 을 이용한 film depostion [1] 151
22 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] 76
21 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] 272
20 RF Sputtering Target Issue [2] file 621
19 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] 1423
18 sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [1] 2335
17 Ar plasma power/time [1] 1448
16 DC스퍼터링과 RF스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문 [2] 3853
15 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [1] 10324
14 Ar fraction에 따른 Plasma 특성 질문입니다. [1] 15813
13 [Sputter Forward,Reflect Power] [1] 29284
12 Sputter 시에 Gas Reaction 에 대해 문의 드립니다. 20212
11 UBM 스퍼터링 장비로... [1] 20919
» 몇가지 질문있습니다 16580
9 스퍼터링에서 DC bias의 감소 원인이 궁금합니다.. 24894
8 DCMagnetron Sputter에서 (+)전원 인가시 19716
7 sputter 16852
6 Splash 발생 및 감소 방안은 없는지요? 18047
5 스퍼터링 후 시편표면에 전류가 흘렀던 흔적 17794
4 sputtering 18303

Boards


XE Login