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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[271]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 20224 |
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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플라즈마 설비에 대한 질문
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121 |
내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다.
[1] | 55 |
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120 |
Edge ring의 역할 및 원리 질문
[1] | 223 |
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119 |
스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다
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118 |
PECVD설비 Matcher 아킹 질문
[2] | 554 |
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117 |
CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의
[2] | 410 |
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116 |
RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계
[2] | 748 |
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115 |
CURRENT PATH로 인한 아킹
[1]  | 392 |
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114 |
플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문
[1] | 489 |
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113 |
반사파와 유,무효전력 관련 질문
[2] | 349 |
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112 |
PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다.
[1] | 335 |
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111 |
chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의
[1] | 357 |
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110 |
ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다
[1] | 793 |
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109 |
정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다.
[1] | 705 |
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108 |
Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다.
| 549 |
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107 |
주파수 변화와 Plasma 온도 연관성
[1] | 627 |
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106 |
Plasma Arching
[1] | 1052 |
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105 |
반도체 관련 플라즈마 실험
[1] | 1234 |
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104 |
Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다
[1] | 886 |
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103 |
RF 파워서플라이 매칭 문제
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