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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다.
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플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할
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RIE Gas 질문 하나 드려도될까요?
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Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정
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플라즈마 밀도와 라디칼
[1] | 341 |
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RF sputter 증착 문제 질문드립니다.
[1] | 335 |
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Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다.
[1] | 331 |
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E-field plasma simulation correlating with film growth profile
[1] | 330 |
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공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다.
[1] | 326 |
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RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요?
[1] | 311 |
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메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘
[1] | 299 |
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Etch Plasma 관련 문의 건..
[1] | 286 |
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RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다.
[1] | 282 |
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gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다
[1] | 279 |
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대기압 플라즈마 문의드립니다
[1] | 269 |
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GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문
[1] | 263 |
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Non-maxwellian 전자 분포의 원인
[1] | 250 |
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ICP에서의 Self bias 효과
[1] | 246 |
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Compressive한 Wafer에 대한 질문
[1] | 244 |
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Cu migration 방지를 위한 스터디
[1] | 243 |