Others ECR 플라즈마에 대해서 질문드립니다. [ECR과 uniformity]

2020.02.11 14:31

이창경 조회 수:2511

안녕하십니까 교수님 저는 한양대학교에서 학부연구생으로 공부를 하고 있는 이창경입니다.

제가 플라즈마에 대해서 공부를 하고 있는중에 플라즈마 소스에 대해서 여러가지 알아보았습니다.

그런데 요즘은 ICP 플라즈마 소스의 등장으로 ECR 플라즈마 소스를 잘 사용하지 않는다고 들었는데 그 이유를 정확히 찾지 못하다 교수님의 연구실 홈페이지를 알게 됐고 질문방에 답을 찾다가 찾지 못해서 이렇게 직접 글을 올리게 됐습니다.

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