Plasma in general 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [반도체 공동 연구소]

2018.05.03 11:20

화공학생 조회 수:14225

대학교 종합설계 프로젝트 과제를 위해 NF3/NH3 플라즈마 가스를 이용한 dry cleaning 실험을 진행해야하는데, 

관련해서 플라즈마응용연구실에서 외부 학생들이 직접 실험 or 실험 참관이 가능한지 여쭤보고 싶어서 문의 남깁니다. 

 

이 게시물을
Profile
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [316] 80787
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21600
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58404
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 70027
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 95312
404 OES 원리에 대해 궁금합니다! [플라즈마 빛의 파장 정보] [1] 26854
403 Collisional mean free path 문의… [MFP와 평균값 개념] [1] 1089
402 Etch 공정(PE mode) Vpp 변동 관련. [Self bias 형성 과정과 전자의 에너지] [1] 2492
401 플라즈마 색 관찰 [플라즈마 빛과 OES신호] [1] 4577
» 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [반도체 공동 연구소] [1] 14225
399 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [Langmuir probe와 ground] [1] file 1127
398 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1119
397 플라즈마에 관해 질문 있습니다!! 24163
396 MATCHER 발열 문제 [Mathcer와 plasma impedance] [3] 1555
395 플라즈마 기초입니다 [Breakdown과 electrolysis] [1] 1356
394 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [Physical sputtering과 cleaning] [1] 1645
393 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [Breakdown과 impedance] [3] 1716
392 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다. [Experiment와 KFE] [1] 2269
391 PR wafer seasoning [Particle balance, seasoning] [1] 2788
390 플라즈마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [Plasma 이온화] [1] 6589
389 플라즈마 기본 사양 문의 [형광등 동작 원리] [1] 678
388 RF PLASMA를 사용한 J.R ESC DECHUCK에 대하여 문의드립니다. [Ionization과 chucking] [1] 2034
387 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [ER과 self bias] [1] 1966
386 VI sensor를 활용한 진단 방법 [Monitoring과 target] [2] 3091
385 아래 382번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [Self bias와 capacitance] [1] 1094
쓰기
태그

Boards

XE Login