Deposition PMMA(폴리메틸메타크릴레이트)의 표면개질에 관해

2004.06.19 16:43

관리자 조회 수:15644 추천:261

안녕하십니까? 저는 대전에 필텍광학이라는 코팅전문회사에 근무하는 이 은석이라고 합니다. 저희는 진공증착(PVD)를 주사업으로 하고 있지만 장래에는 CVD를, 또는 플라즈마를 이용한 코팅을 하려고 노력 중입니다. 제가 궁금한 것은 PMMA 또는 PC(폴리카보네이트)의 금속산화물 증착이 가능하도록 플라즈마 표면개질로 가능한 방법이 있는가? 궁급합니다. 저희는 자체 제작한 플라즈마 장비로  실험을 하고 있는데 기본구조를 소개드리면,
  13.56MHz
  0 - 1500 watt
  3가지 gas를 동시 주입이 가능하고
  2종류의 액상 모노머를 혼입할 수 있도록 만들었습니다.  
  reactor는 대략  1000 x 800 x 650 mm 정도로 판형 전극이 장치되어 있습니다.
산소, 질소, 알콘, 이산화탄소 등의 플라즈마 처리와
실란류들의 플라즈마중합도 해보았는데 부착성에서 시료부착성이 문제가 됩고 있습니다.
강의록 내용중에 암모니아를 이용한 PMMA 표면개질에 대해 간단히 소개되었던데 조금 자세한 설명 좀 부탁드리겠습니다.
또한 이와유사한 경험이 있으신 분의 도움을 받고 싶습니다.
그럼 안녕히 계세요!

이 게시물을
수정 삭제 목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76677
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20151
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57151
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68672
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92182
787 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] 50
786 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] 54
785 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] 60
784 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] 60
783 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 67
782 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] 67
781 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 78
780 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [1] file 83
779 ICP에서의 Self bias 효과 [1] 93
778 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] 96
777 skin depth에 대한 이해 [1] 99
776 sputtering 을 이용한 film depostion [1] 101
775 Microwave & RF Plasma [1] 103
774 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 117
773 ICP에서 전자의 가속 [1] 126
772 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 128
771 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 135
770 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [2] 135
769 LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] 146
768 CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [2] file 149
쓰기
태그

Boards

XE Login