Deposition 플라즈마 코팅에 관하여

2004.06.25 16:45

관리자 조회 수:21886 추천:303

질문 ::

저는 직장에 다니는 회사원입니다. 얼마전 선배로 부터 플라즈마 코팅이라는 것을 문의 받았는데, 정확한 답변을 할 수가 없었습니다. 플라즈마 코팅의 원리와 국내 전문가를 소개시켜 주실 수 있는지요?

답변 ::

플라즈마를 이용한 코팅을 한마디로 설명하기는 어렵지만 간단히 생각해 보면 화학물이 시편 표면을 덮는데 플라즈마 환경을 이용한다고 생각할 수 있습니다. 플라즈마는 화학물의 활성에너지를 제공하거나 화학물이 시편 표면과 잘 반응하도록 합니다. 특히 플라즈마 내의 전자에 의해서 기체 상태의 화학물들은 해리되어 래디컬을 형성하여 시편 표면과 활발하게 반응하여 표면에 정착하게 됩니다. 이들 화학물은 시편 표면에 작은 섬을 만들고 그 섬 주변으로 점차 커지는데 이런 섬들이 많아지면 옆의 섬과 연결되면서 시편 전체를 덮게 됩니다. 따라서 시편과 코팅 목적에 알맞는 화학물을 선택하는 것이 매우 중요하며 플라즈마를 이용하고자 한다면 화학물을 기체상태 속에 넣을 수 있어야 합니다. 이렇게 플라즈마의 도움을 받아 표면에 화학물을 코팅하는 기술을 PECVD 혹은 PACVD라고 합니다. 이에 관한 연구는 대단히 활발함으로 주변의 대학 재료공학과에서 전문가를 쉽게 찾으실 수 있을 것 입니다. 혹은 본 란에 답글을 자주 올려주시는 군산대학의 주정훈 교수님이나 울산대학의 천희곤교수님을 찾아 원하시는 코팅에 대한 자문을 받아 보시는 편이 좋을 것 같습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [88] 2928
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 14133
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 50059
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 62373
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 80762
660 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 119
659 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 131
658 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 167
657 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 169
656 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 183
655 Co-relation between RF Forward power and Vpp [2] 188
654 doping type에 따른 ER 차이 [1] 202
653 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 206
652 SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문 [1] 214
651 etch defect 관련 질문드립니다 [1] 236
650 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 238
649 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 239
648 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 245
647 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 246
646 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 255
645 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 263
644 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 268
643 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 271
642 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 272
641 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 273

Boards


XE Login