학회명 한국표면공학회 
연도 2018 
수상자 노기백 
상명 우수 포스터 발표상 

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학회명 연도 상명 수상자 제목
ISSM  2018  Best Paper Award  유상원  Real-time Etch Control to Reduce First Wafer Effect in SF6/O2/Ar Plasma file
ISSM  2018  Student Paper Award  유상원  Real-time Etch Control to Reduce First Wafer Effect in SF6/O2/Ar Plasma file
한국반도체디스플레이기술학회  2018  우수논문상  권지원  Development of Second Positive System based N2 Collisional Radiative Model
한국표면공학회  2018  우수 포스터 발표상  노기백  ELM 고열속 인가에 따른 텅스텐의 결정 성장 및 균열 발생 심화 관찰 file
ICMAP  2018  Best Poster Award  유상원  Model Predictive Control of Electron Density for Ar/SF6 Etching Plasma file
ICMAP  2018  Best Poster Award  노기백  Enhancement of Crack through the Depth of Grain Growth on Tungsten under Transient High Heat Flux file
한국반도체디스플레이기술학회  2018  우수논문상  장윤창  플라즈마 정보 인자를 이용한 SiO2 식각율 가상계측 개발 방법론 file
한국반도체디스플레이기술학회  2017  우수논문상  노현준  반도체/디스플레이 공정 진단 및 제어를 위한 플라즈마 정보 생성 방법론 소개 file
American Vacuum Society  2017  John Coburn and Harold Winters Student Award  Hyun-Joon Roh  Plasma Information Based Virtual Metrology (PI-VM) for Nitride Thickness in Multi-Layer PECVD file
한국반도체디스플레이기술학회  2017  최우수논문상  노현준  장비 지능화를 위한 플라즈마 정보 기반의 가상 계측 모델 개발 file
한국반도체학술대회  2017  Best Poster Award  유상원  Development of Phenomenological Model Based RF Power - Electron Density Controller for SF6/Ar Etch Plasma file
K-J Seminar  2016  Best Poster Award  김남균  Observation of Ions’ Motion near a Multi-Ion-Species and Weakly-Magnetized Plasma Sheath file
KAPRA  2016  최우수 포스터 상  배병준  충돌성 음극 쉬스 모델을 통한 대기압 유전체 격벽 방전기의 음극 강하 영역 크기 연구 file
ICOPS  2015  Outstanding Student Award  Hyun-Joon Roh  Improvement of Dynamic Range of Electron Energy Probability Function from Two Asymmetrical Collecting Area Probe Data Filtered by Savitzky-Golay and Blackman Window Methods file
ISSM  2014  Student Award  박설혜  Enhancement of Virtual Metrology Performance for Plasma-Aided Processes by Using Process Plasma Monitoring file
ICMAP  2014  최우수 포스터상  장윤창  Effect of Gap Distance between Top Electrode and Baffle on Plasma Distribution in Peripheral Region file
JK Seminar  2014  Silver Award  김남균  Determination of Ion Concentration in a Ar/Xe and He/Ar Filament Discharged Multi-dipole Plasma Source file
KAPRA  2013  최우수 포스터상  김곤호 외  자기탐침을 이용한 대면적 고주파 축전결합형 플라즈마원에서 정상파 효과 측정 file
한국물리학회  2011  우수발표상  진영길  플라즈마 제트와 텅스텐 입자 간 에너지 균형 모델에 의한 입자의 비행 중 열 이력 평가 및 검증 연구 file
CAFRE  2011  우수발표상  진영길  핵융합로공학 선행연구센터 중간 연구결과 file

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