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2024 Current Applied Physics Observation of the floating sheath distribution on Al2O3 and silicon targets adjacent to a DC biased metal substrate 2022 Current Applied Physics Investigation of ion-induced etch damages on trench surface of Ge2Sb2Te5 in high density Ar/SF6 plasma 2022 Journal of the Korean Physical Society Plasma Information-based virtual metrology (PI-VM) and mass production process control 2022 Plasma Sources Science and Technology Investigation of ion collision effect on electrostatic sheath formation in weakly ionized and weakly collisional plasma 2022 Physics of Plasma 2022 Review of Data-Driven Plasma Science
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2023 KVS 유도 결합 플라즈마의 변압기 회로 모델 기반 용량성-유도성 전력 결합 특성 해석 2023 KAPRA & KPS/DPP Enhancement of Sputtering Yield on Tungsten with Argon Ion Fluence 2022 1st International Fusion and Plasma Conference Plasma information based Advanced Process Controller for Plasma Etch Process 2022 KAPRA & KPS/DPP 고종횡비 식각 공정의 표면 식각/증착 반응 모델 적용 플라즈마 정보 인자 기반 하드 마스크 넥킹 가상 계측... 2021 AEC/APC Symposium Asia 2021 Development of Si Etch Profile Virtual Metrology using Plasma Information(PI-VM) in SF6/O2/Ar Capacit...
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ICP에서의 Self bias 효과 1 2024-03-28 01:49 김준서 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. 1 2024-03-25 14:17 정현찬 sputtering 을 이용한 film depostion 1 2024-03-16 00:57 임승빈 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. 1 2024-03-14 10:35 장유안 플라즈마 밀도와 라디칼 1 2024-03-13 13:45 김준서 Microwave & RF Plasma 1 2024-03-11 16:59 오창석 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 1 2024-03-03 20:04 김준서 ICP에서 전자의 가속 1 2024-02-29 14:09 김준서 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. 1 2024-02-29 11:41 최진영 Edge ring의 역할 및 원리 질문 1 2024-02-29 01:39 서한솔
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