학회명 ISSM 
연도 2018 
수상자 유상원 
상명 Best Paper Award 

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학회명 연도 상명 수상자 제목
한국물리학회  2011  우수발표상  진영길  플라즈마 제트와 텅스텐 입자 간 에너지 균형 모델에 의한 입자의 비행 중 열 이력 평가 및 검증 연구 file
CAFRE  2011  우수발표상  진영길  핵융합로공학 선행연구센터 중간 연구결과 file
졸업논문발표회  2011  최우수논문상  장윤창  레이저 원자 흡수 분광학을 이용한 대기압 플라즈마 제트의 수산화기 화학적 활성종 형성에 헬륨 준안정성종이 끼치ㅡ는 영향에 관한 연구 file
ICMAP  2014  최우수 포스터상  장윤창  Effect of Gap Distance between Top Electrode and Baffle on Plasma Distribution in Peripheral Region file
한국반도체디스플레이기술학회  2018  우수논문상  장윤창  플라즈마 정보 인자를 이용한 SiO2 식각율 가상계측 개발 방법론 file
KVS  2023  학부생 포스터 발표상  임재민  유도 결합 플라즈마의 변압기 회로 모델 기반 용량성-유도성 전력 결합 특성 해석 file
한국반도체학술대회  2017  Best Poster Award  유상원  Development of Phenomenological Model Based RF Power - Electron Density Controller for SF6/Ar Etch Plasma file
ICMAP  2018  Best Poster Award  유상원  Model Predictive Control of Electron Density for Ar/SF6 Etching Plasma file
ISSM  2018  Best Paper Award  유상원  Real-time Etch Control to Reduce First Wafer Effect in SF6/O2/Ar Plasma file
KAPRA & KPS/DPP  2021  우수 포스터 발표상  송재민  장비 플라즈마 데이터 기반 지능형 제어 시스템 개발 file
1st International Fusion and Plasma Conference  2022  Best Poster Award  송재민  Plasma information based Advanced Process Controller for Plasma Etch Process file
KAPRA  2016  최우수 포스터 상  배병준  충돌성 음극 쉬스 모델을 통한 대기압 유전체 격벽 방전기의 음극 강하 영역 크기 연구 file
KAPRA & KPS/DPP  2022  우수 포스터 발표상  배남재  고종횡비 식각 공정의 표면 식각/증착 반응 모델 적용 플라즈마 정보 인자 기반 하드 마스크 넥킹 가상 계측 기술 개발 file
ISSM  2014  Student Award  박설혜  Enhancement of Virtual Metrology Performance for Plasma-Aided Processes by Using Process Plasma Monitoring file
한국반도체디스플레이기술학회  2017  최우수논문상  노현준  장비 지능화를 위한 플라즈마 정보 기반의 가상 계측 모델 개발 file
한국반도체디스플레이기술학회  2017  우수논문상  노현준  반도체/디스플레이 공정 진단 및 제어를 위한 플라즈마 정보 생성 방법론 소개 file
ICMAP  2018  Best Poster Award  노기백  Enhancement of Crack through the Depth of Grain Growth on Tungsten under Transient High Heat Flux file
한국표면공학회  2018  우수 포스터 발표상  노기백  ELM 고열속 인가에 따른 텅스텐의 결정 성장 및 균열 발생 심화 관찰 file
KAPRA & KPS/DPP  2023  우수 포스터 발표상  노기백  Enhancement of Sputtering Yield on Tungsten with Argon Ion Fluence file
JK Seminar  2014  Silver Award  김남균  Determination of Ion Concentration in a Ar/Xe and He/Ar Filament Discharged Multi-dipole Plasma Source file

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