Process 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련
2019.11.20 18:31
안녕하십니까?
현업에서 일하면서, 정전척관련 업무를 진행하고 있습니다.
유체와 전자기장 관련 아킹이라던지/유전상수에 따른 전자기장 분포 등에 대한 분석을 하고 싶은데,
추천해주실만한 시뮬레이션이 있는지요?
제가 알기로는 엔시스나 CST프로그램을 알고 있습니다.
엔시스프로그램으로 위의사항을 분석 할 수 있는지도 궁금합니다.
감사합니다.
수고하십시오.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76712 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20164 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57164 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68688 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92255 |
508 | 진학으로 고민이 있습니다. [2] | 1030 |
507 | 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] | 1225 |
506 | Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] | 2966 |
» | 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] | 540 |
504 | ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] | 1596 |
503 | 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] | 1930 |
502 | Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] | 11309 |
501 | Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] | 2312 |
500 | 공정플라즈마 [1] | 1145 |
499 | 임피던스 매칭회로 [1] | 2804 |
498 | 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] | 550 |
497 | CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] | 1688 |
496 | glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] | 1506 |
495 | plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] | 3379 |
494 | 대학원 진학 질문 있습니다. [2] | 1156 |
493 | 질문있습니다. [1] | 2569 |
492 | chamber impedance [1] | 2009 |
491 | PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] | 3268 |
490 | 플라즈마 관련 기초지식 [1] | 2125 |
489 | 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] | 5063 |
핵융합 연구소의 권득철박사님/ 한양대학교 정진욱교수님께 문의드려 보시면 좋은 정보를 얻으실 수 있을 것 같습니다.