OES CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다.

2021.07.16 18:01

현재 BTO 박막을 CF4/Ar gas 를 이용하여 플라즈마 식각을 진행하고 있습니다.

OES 분석을 위해 CF3 파장이 필요한데 제가 가지고 있는 data에 없어서 이렇게 문의 드립니다.

혹시 OES 분석이나 실험 분석에 사용했던 CF3의 파장이 있으시다면 알려주실수 있으신가요?

번호	제목	조회 수
공지	[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [160]	73031
공지	Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법	17616
공지	개인정보 노출 주의 부탁드립니다.	55516
공지	kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수	65698
공지	질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3]	86030
706	Si 표면에 Ar Plasma Etching하면 안되는 이유 [1]	16
705	OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1]	34
704	실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1]	66
703	Self bias 내용 질문입니다. [1]	77
702	정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1]	93
701	self bias [1]	98
700	챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1]	105
699	텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1]	113
698	PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1]	126
697	구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1]	178
696	기판표면 번개모양 불량발생 [1]	203
695	AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제	207
694	CCP RIE 플라즈마 밀도 [1]	211
693	plasma modeling 관련 질문 [1]	236
692	공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1]	246
691	ESC DC 전극 Damping 저항	246
690	Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1]	262
689	plasma striation 관련 문의 [1]	263
688	스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1]	271
687	OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1]	272

첫 페이지 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 끝 페이지

쓰기

댓글 1