번호 제목 조회 수
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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63767
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83576
679 plasma striation 관련 문의 file 6
678 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 31
677 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 23
676 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 file 38
675 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 61
674 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 84
673 Plasma Arching [1] 103
672 Polymer Temp Etch [1] 62
671 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 202
670 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 106
669 플라즈마 관련 교육 [1] 351
668 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 205
667 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 141
666 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 83
665 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 222
664 RF 파워서플라이 매칭 문제 [1] 289
663 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] file 522
662 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 253
661 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 205
660 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 360

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