번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [300] 77972
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20810
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57717
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69220
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93591
76 chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] 401
75 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] 398
74 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 385
73 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [전자 충돌 현상 및 입자 충돌 현상] [1] 374
72 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 368
71 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [1] file 367
70 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 357
69 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 353
68 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [DC breakdown 및 sheath] [1] 350
67 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [Matcher 기능] [2] 347
66 ICP에서의 Self bias 효과 [DC offset voltage와 floating potential] [1] 340
65 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [Druyvesteyn distribution 이해] [1] 338
64 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 338
63 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 336
62 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 335
61 Etch Plasma 관련 문의 건.. [RF 주파수와 플라즈마 주파수] [1] 325
60 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 322
59 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [박막 문제] [1] 312
58 대기압 플라즈마 문의드립니다 [플라즈마 전원 이해] [1] 288
57 Cu migration 방지를 위한 스터디 [전자재료] [1] 278

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