Etch Debey Length에 대해 문의 드립니다. [플라즈마 정의와 Deybe length]

2024.07.05 06:52

무전신현 조회 수:194

반도체 ETCH 관련 업무를 하고 있습니다.

Plasma를 공부하던중 Debye Length라는 개념을 알게 되었습니다.

"용량성 결합 방전에서 초점 링의 기하학 및 유전율 변화에 따른 웨이퍼 가장자리의 이온 운동학 "에서 보면 웨이퍼와 포커스 링 사이의 간격에서 ",

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