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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 70267
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743 floating substrate 에서 sheath 형성 과정 의문점 [Ambipolar diffusion, Floating potential] [2] 22941
742 [질문] Plasma density 측정 방법 [Plasma property와 sputtering] [1] 22801
741 remote plasma에 대해 설명좀 부탁드립니다. [Remote plasma의 Radical] [1] 22770
740 pulse plasma 측정을 위한 Langmuir probe 사용 방법 관련 [Pulse plasma와 trigger-in] [1] 22741
739 Peak RF Voltage의 의미 22717
738 MATCHING NETWORK 에서 BACKWARD BIAS 가 생성되는 이유가 무엇 입니까? [Impedance matching과 반사파 형성] [3] 22666
737 Dry Etcher 에 대한 교재 [플라즈마 식각 기술] [1] 22648
736 질문있습니다 교수님 [Deposition] [1] 22539
735 Dry Etcher 내 reflect 현상 [Chuck 전압/전류 및 field breakdown] [2] 22371
734 플라즈마의 발생과 ICP 22257
733 플라즈마 코팅 관하여 [PECVD와 화학물 코팅] 22164
732 플라즈마 온도 질문+충돌 단면적 [전자의 에너지에 따른 충돌반응] 22074
731 플라즈마내의 전자 속도 [Self bias] [1] 22050
730 펄스바이어스 스퍼터링 답변 22020
729 glass 기판 ICP 에서 Vdc 전압 21843
728 스퍼터링시 시편 두께와 박막두께 [박막의 하전량 변화] [1] 21818
727 ccp-icp 21726
726 manetically enhanced plasmas 21708
725 F/S (Faraday Shield) file 21682

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