ESC [질문] 석영 parts로인한 특성 이상 [Plasma 대면재료와 공정법]

2011.09.04 20:31

coating revolution 조회 수:19929

안녕하세요.

 

큐에스아이라는 회사의 coating field를 담당하는 우병화 사원이라고 합니다.

 

현재 자사 ECR sputter에서 석영 parts 를 세정하여 재사용하고 있습니다.

 

그런데 세정 후에 장착하면 원하는 target(al2o3)의 반사율과 굴절율의 특성 이상이 보이는 현상이 있습니다.

 

세정 잘못으로 인한 반사울 굴절율 값이 상이해는지 경우가 있는지 문의 드립니다.

 

 

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