Etch etch defect 관련 질문드립니다 [Plasma distribution]
2022.04.28 18:19
1. etch 공정이 완료된 이후 가장자리에 다량의 defect가 발견되었는데 이때 원인을 분석하기 위한 방법이 무엇이 있을까요?
2. 또 1번의 defect를 줄이기 위한 방법이 무엇이 있을까요?
저 나름대로 공부를 해봤는데 다른분들 의견이 궁금해서 질문드립니다
2022.04.28 18:19
1. etch 공정이 완료된 이후 가장자리에 다량의 defect가 발견되었는데 이때 원인을 분석하기 위한 방법이 무엇이 있을까요?
2. 또 1번의 defect를 줄이기 위한 방법이 무엇이 있을까요?
저 나름대로 공부를 해봤는데 다른분들 의견이 궁금해서 질문드립니다