- 직장을 유추할 수 있는 내용은 피해가 발생할 수 있으니, 본 답변을 확인하시고 해당 사항을 삭제하시기를 추천합니다.

- 현상에 대한 제 의견은 전원 손상시 line damage가 있었던 것으로 보입니다. 특히 접촉부에는 저항이 상존하는데 match가 틀어지는 순간에 이 부분에는 큰 열이 발생하고 이는 절연체 재료의 미세구조 변화를 유발할 수 있습니다. 따라서 connector 부근과 전송선의 교체를 포함해서 장비 정렬을 다시해 보시는 것이 좋을 것 같습니다. (혹시 전력을 낮추어서는 문제가 없다가 키우면서 문제가 관찰된다면 부품의 노후화 혹은 damage을 의심하는 것이 합리적일 것입니다) 

- 참고로 저는 전원 손상 시 내부 damage에 대해서는 잘 알지 못하고, matcher내의 cap 자체나 연결부 특히 입/출력 단자 등에도 damage가 발생해서 교체했던 경험에서 말씀드립니다. 따라서 전선 및 connector 에서 문제 해결이 어려웠다면 전원사의 검토가 필요해 보입니다.  

안녕하세요. RF power 회사에 다니는 서태현이라고 합니다.
1. 질문 : RF 플라즈마을 띄우면 정상으로 뜰 때도 있고

              매처로 튜닝도 되지 않는 엄청난 리플렉트가 발생할때도 있고

             플라즈마가 아에 뜨지 않는 경우도 있습니다

     답변 : 교수님 말씀대로 동축케이블의 그라운드 단선을 통해서 이와 같은 증상이 나올 수 있습니다.

                RF 자체가 교류이기 때문에 1개라도 접점 불량일 시에 전력송전이 제대로 되지 않습니다.

                또한 챔버 내 저항치를 내는 탄소성분이 있어 않되는 경우도 있습니다.

                만약 해결이 되지 않았다면 chamber pm을 추천드립니다.

2.  질문 : rf generator 출력단(동축케이블 꽂는곳) 저항 체크 시 심선 닿는곳과 바깥쪽 쉴드 사이에

             저항이 0.3옴이 뜹니다?

    답변 : RFG 종단에서 심선과 그라운드를 저항값을 찍어서 점검하셨다고 하는데 이는 제네레이터의

            설계 방식에 따라 다릅니다.

            제가 보기엔 제네레이터가 망가지지 않았다면 트랜스방식으로 amp가 설계된 제품으로 

            사료됩니다.

            제품이 RFPP사의 RF,LF 시리즈와 같은 방식의 amp는 트랜스 양방향을 측정하는 것과 같이

            나올 것 같습니다.