안녕하세요 

항상 좋은 정보와 친절한 설명에 감사드리고 있는 회원입니다.

저는 물리 학사 / 신소재 석사 과정 중 플라즈마 이온 농도 측정, 플라즈마 파워에 따른 막질 분석 등

플라즈마 관련 논문을 작성하였고, 졸업 후에도 계속 플라즈마 관련 엔지니어로 근무 중에 있습니다.

오늘 플라즈마 관련, 한 가지 문의드리고자, 이렇게 찾아뵙게 되었습니다.


Si precursor (TEOS)와 O2 Plasma를 이용한 CVD 반응을 통해 SiO2를 증착하는 Process인데,

문제는 최초 Plasma에 의해 Ion, Radical이 생성된 위치에서 너무 멀리 떨어진 위치에서도 정규적인 SiO2 deposition 반응이 

일어나는 것처럼 보인다는 것입니다.

좀 더 자세히 말씀드리자면, 플라즈마가 발생되는 위치에서 fore-line을 통해 연결된 펌프나 스크러버 내에서 

위에서 말씀드린 정규적인 SiO2가 확인이 되고 있습니다.

공정 챔버에서 미 반응되어 남게되는 소스가 배관을 통해 밖으로 out될 수는 있다고 생각하나,

그 멀리 떨어진 외부에서 정규적인 SiO2 deposition 반응이 일어난다는게 쉽게 이해가 가지 않습니다.

일단 플라즈마 소스에서 그 멀리 떨어져있다는 위치의 파우더를 XPS 분석 진행해 봤을 때, 

Pure한 SiO2 peak만 확인이 되고 있습니다. 다른 위치에서는 SiO2가 있다 해도, 다른 성분들과 결합된 채로 존재하나,

플라즈마 소스에서 가장 멀리 있는 그 위치에서만은 SiO2만 분석됩니다. 

XPS 외에도 다른 근거도 있습니다만, 업무와 연관된 부분이라 공개가 어렵습니다.


하여 문의드리고 싶은 것은 플라즈마에 의해 발생된 이온이나 래디컬의 이동 거리에 따른 이온 또는 래디컬의의 농도 연구,

혹은 이동 거리에 따른 SiO2 등 증착 상태 연구에 관한 논문이나 자료 Reference 입니다.

현상이 너무 괴이하여 감히 원인 등에 대해 문의드리기가 어려울 것 같고, 대신 관련성이 깊지 않아도 좋으니,

연관된 논문, 특허 혹은 기타 자료에 대해 생각 나시는게 있으시다면 말씀을 부탁드리고자 합니다.


긴 글 읽어주셔서 감사 드립니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76539
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
582 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1662
581 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 1289
580 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 860
579 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 1099
578 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 399
577 압력과 플라즈마 크기의 관계가 궁금합니다. [1] 28409
576 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 1332
575 Load position 관련 질문 드립니다. [1] 2417
574 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 450
573 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 1078
572 플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [1] 6416
571 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 792
570 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 578
569 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 951
568 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 1450
567 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 1146
566 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 5462
565 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 832
564 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1683

Boards


XE Login