Ion/Electron Temperature 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [Light flower bulb]

2021.08.12 16:29

박준우 조회 수:1121

안녕하세요. 경희대학교에서 플라즈마에 대한 학부연구를 진행하고 있는 박준우라고 합니다.

플라즈마의 전자 온도에 대한 간단한 질문이 있어 QNA 드립니다.

 

플라즈마 내의 전자가 물질(substrate)과 충돌했을 때, 맞은 substrate의 전자도 온도가 올라가는 것으로 알고 있습니다.

이 때 일반적으로 진공에 떠돌아 다니는 전자의 온도와, substrate의 전자 온도의 정의를 똑같이 할 수가 없다고 하는데, 정확히 어떻게 정의가 달라지는지 궁금하여 질문 드립니다.

 

감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [316] 81986
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21850
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58631
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 70258
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 95942
624 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [챔버 벽면 성질 및 가스 손실] [1] 1527
» 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [Light flower bulb] [1] 1121
622 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [TC gauge 동작 원리] [1] 996
621 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [Paschen's Law, P-d 방전 곡선] [1] 2483
620 데포 중 RF VDC DROP 현상 [부유 전극의 self bias 형성] [1] 1627
619 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [Intensity 넓이 계산] [1] 1688
618 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [핵융합 연구소 자료] [1] 827
617 anode sheath 질문드립니다. [Sheath 형성 메커니즘] [1] 1165
616 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [단위 Chamber의 PM 이력] [1] 852
615 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [플라즈마 표면 반응] [1] 858
614 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1569
613 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [Plasma information variable model] [1] 2253
612 라디컬의 재결합 방지 [해리 반응상수] [1] 951
611 LF Power에의한 Ion Bombardment [플라즈마 장비 물리] [2] 2411
610 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [DC bias 형성 판단] [1] 1700
609 전자 온도 구하기 [쉬스 전압, 스퍼터링 효과] [1] file 1328
608 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [Rise rate] [1] 386
607 CVD 공정에서의 self bias [이차 전자 생성, 입사 이온 에너지 분포] [1] 3478
606 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [소수/친수성 조절 연구] [1] 3416
605 잔류시간 Residence Time에 대해 [표면 유속 정보, 유체해석 코드] [1] 1339
쓰기
태그

Boards

XE Login