Others N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점

2022.05.12 00:29

윤태화 조회 수:998

안녕하세요. 반도체회사에서 PECVD 장비를 하고있는 윤태화입니다.

GAS 종류에 따른 Plamsa 진행시 차이점이 있는지 궁금합니다.

1. N2 Gas 로 Plasma 진행 시 장단점

2. N2O Gas 로 Plasma 진행 시 장단점

3. N2 / N2O 두 Gas의 Plasma 차이점

4. N2 및 N2O GAS 사용으로 Plasma 4~5분 노출 시 챔버 내부 변색 가능성? 한두달 뒤 변색이 될 가능성..

위 4개 질문드립니다.

감사합니다.

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