Matcher Plasma Arching

2022.09.13 19:17

플라즈마어렵다1 조회 수:1051

안녕하십니까!

경기도 모 소재대학에 신소재공학과 재학중인 학생인데 

신소재공학과는 전자기학을 배우지 않아서 어려움을 겪고있습니다.

1. 아킹 현상에 대해 공부중인데 임피던스 매칭? 이런 개념들이 너무 어렵고 플라즈마에 대해 이해도를 높이기 위해 전자기학 책 (원서도 좋습니다) 추천해주실만한 서적있으신가요?

 

답변주시면 감사하겠습니다. 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76726
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20172
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57166
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68696
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92275
749 RF 주파수에 따른 차이점 [1] 699
748 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 394
747 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 749
746 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 737
745 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] 373
744 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 315
743 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 290
742 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] file 504
741 CURRENT PATH로 인한 아킹 [1] file 390
740 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] 477
739 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] 675
738 remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] 485
737 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 420
736 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [1] file 310
735 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다 [1] 344
734 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 559
733 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 250
732 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] 348
731 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 214
730 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] 598

Boards


XE Login