안녕하세요

Match 안에 VI probe가 없다면 HV probe로는 전압은 측정이 가능합니다.(물론 저는 match 안에 probe가 있다면 그것을 사용하시는 걸 추천드립니다.)

RF 전류는 current probe로 따로 측정하셔야 합니다.

일반적으로 RF 전압 전류는 impedans사 것을 많이 사용합니다.

혹은 matching 된 값을 기억하고 match의 impedance를 역산하여 입력전력을 대비 계산하면 이론상의 전압 전류는 생각해 볼 수 있습니다.(network analyzer가 필요해보입니다.)

현 상황은 임피던스 회로와 matching 회로 그리고 matching point를 알아야지 회로 변경이 필요한지 고민할 수 있을 것 같습니다.

현재 사용하고 계시는 match의 회사에게 현상황을 잘 모니터하셔서 전달해 주시면 일이 잘 진행될 것이라고 생각됩니다.

RF 소스의 인가 전력을 진단하기 위해서는 안테나 또는 전극에 흐르는 전류/ 전압 (의 크기와 파형) 및 phase 측정, 3 요소 측정이 '매우' 중요합니다. 

각 요소는 sine 파형으로 인가되나 Load 인 플라즈마의 임피던스에 따라서 반사파 및 투과 파 등의 결합으로 왜곡된 sine 파형을 갖게되고

반사파를 최소화 시키기 위해서 matcher 가 그 기능을 하게 됩니다. 따라서 Load 값의 전류/전압/phase 진단은 matcher와 전극/안테나 사이에서 진행합니다.

전류 진단은 pearson coil를 가지고 측정합니다. (제품을 수배해 보시기 바랍니다. 가용 주파수 범위를 잘 살펴야 합니다.) 전압 측정에 고전압 프로브를 사용하셨는데, 가능합니다. 또는 비 접촉식 capcitively couple 값을 이용합니다. 여기서 중요한 것은 진단계와의 정합으로 인해서 실제 전달되는 신호의 왜곡이 발생하는 점을 고려해서, 그 섭동의 크기에 대한 상대 값을 알고 있으면 보다, 정확한 진단을 할 수 있습니다. 

어울러 임피던스는 저항과 reactance로 구성되어 있고, reactance는 전류 신호와 전압 신호의 위상차를 유발하며, 플라즈마의 임피던스는 플라즈마 유전상수의 값으로 표현할 수 있어, 전자 밀도, 전자-중성입자 충돌 주파수와 비례합니다. 따라서 운전 압력과 발생 플라즈마 밀도에 따라서 변하고 플라즈마 임피던스 변화는 match 값의 조절이 필요하게 되는 이유입니다. 즉 RF 전력이 변동되면, 플라즈마 상태 변화가 반응하고, 운전 조건이 바뀌면 플라즈마 상태가 변하므로, 각 조건에서 matcher는 부지런히 match 값을 갖게 됩니다. 

하지만, 이번 셋업에서 무리하지 마시고, 측정된 전압/전류 값의 파형을 잘 관찰해 보시는데, 더 중요한 것은 두 신호 상의 phase를  scope   trigger를 이용해서 잘 측정해 보세요. 그 데이터를 써야 하겠는데, 이 데이터로 부터 plasma impedance 가 변했는가를 확인해 보세요. 실제 공정진단 센서 중에 VI 센서는 이 기능을 하는 센서입니다.  아마도 여기 소개된 카워드가 낯설 다면 본 계시판에서 키워드를 찾아 보시고 plasma dielectric constant를 한 번 유도해 보시면 좋습니다.