번호 제목 조회 수
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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 70346
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 96215
103 CCP에서 Area effect(면적)? [Self bias와 sheath capacitance] 21506
102 Breakdown에 대해 21521
101 대기압플라즈마를 이용한 세정장치 21611
100 상압 플라즈마 관련 문의입니다. [열용량과 방전 전력에 따른 냉각 장치] [1] 21615
99 F/S (Faraday Shield) file 21685
98 manetically enhanced plasmas 21709
97 ccp-icp 21729
96 스퍼터링시 시편 두께와 박막두께 [박막의 하전량 변화] [1] 21821
95 glass 기판 ICP 에서 Vdc 전압 21844
94 펄스바이어스 스퍼터링 답변 22022
93 플라즈마내의 전자 속도 [Self bias] [1] 22053
92 플라즈마 온도 질문+충돌 단면적 [전자의 에너지에 따른 충돌반응] 22075
91 플라즈마 코팅 관하여 [PECVD와 화학물 코팅] 22164
90 플라즈마의 발생과 ICP 22259
89 Dry Etcher 내 reflect 현상 [Chuck 전압/전류 및 field breakdown] [2] 22373
88 질문있습니다 교수님 [Deposition] [1] 22542
87 Dry Etcher 에 대한 교재 [플라즈마 식각 기술] [1] 22652
86 MATCHING NETWORK 에서 BACKWARD BIAS 가 생성되는 이유가 무엇 입니까? [Impedance matching과 반사파 형성] [3] 22668
85 Peak RF Voltage의 의미 22718

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