안녕하세요? 

저는 플라즈마에 관심이 많은 학생입니다.


다름이 아니라, 플라즈마 공정 시 어떠한 박막에 대하여 photon이 박막의 결합을 파괴하면서 플라즈마 손상을 줄 수 있다는 내용을 들었는데요,

자외선 측정기들을 찾아보니 mW/cm^2 의 값으로, 측정이 되어 값을 알 수 있는데,

예를 들어 어느 한 결합의 결합 에너지가 10 eV 라면, 자외선 측정기의 값과 결합에너지를 직접적으로 광자에너지의 단위로 비교가 가능할까요?

검색해보니 mW 는 시간을 도입하여 mW x sec --> mJ로 계산이 되고 이를 eV로는 변환할 수 있는 것 까지는 확인하였으나 /cm^2 를 어떻게 해야할지 잘 모르겠습니다.

고견주시면 감사드리겠습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76540
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
643 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 3362
642 Sheath 길이와 전자의 온도 및 MFP간의 관계에 대해 질문 드립니다. [1] 4739
641 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 1896
640 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 1088
639 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 1250
638 Plasma 식각 test 관련 문의 [1] 3949
637 RF 전압과 압력의 영향? [1] 1632
636 Plasma Cleaning 관련 문의 [1] 1320
635 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 1141
634 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 1564
633 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 705
632 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 2278
631 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1485
630 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 445
629 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 1268
628 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 1949
627 ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] 8660
626 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 3499
625 ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] 14686
624 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 1307

Boards


XE Login