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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다.
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Self bias 내용 질문입니다.
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실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무
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702 |
정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다.
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701 |
self bias
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챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성
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텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량
[1] | 109 |
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698 |
PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활
[1] | 112 |
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구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다.
[1]  | 178 |
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696 |
기판표면 번개모양 불량발생
[1] | 195 |
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695 |
CCP RIE 플라즈마 밀도
[1] | 199 |
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694 |
AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제
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693 |
plasma modeling 관련 질문
[1] | 234 |
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692 |
ESC DC 전극 Damping 저항
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691 |
공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다.
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Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동
[1] | 260 |
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689 |
plasma striation 관련 문의
[1] | 261 |
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688 |
스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항
[1] | 269 |
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687 |
OES 파장 관련하여 질문 드립니다.
[1] | 270 |
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686 |
RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교
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