번호 제목 조회 수
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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 75972
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 109912
835 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 180
834 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 246
833 OES를 통한 Radical 생성량 트렌드 파악 [1] 249
832 플라즈마 식각 커스핑 식각량 290
831 [Update] Shower Head의 구멍이 일부 막힌 Case의 출력 [1] 308
830 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [열전달 방정식 이해] [1] 345
829 플라즈마 설비에 대한 질문 381
828 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 381
827 Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다. [표면파의 전파] [1] 392
826 corona model에 대한 질문입니다. [준중성과 저압플라즈마] [1] 414
825 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [유전체 상태 모니터링] [1] 416
824 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [상압플라즈마 소스] [1] 419
823 Ar Plasma로 AlN Pedestal 표면에 AlFx desorption 가능 여부가 궁금합니다. [1] 422
822 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [Bactericidal 이해] [2] 425
821 동일한 RF방전챔버에서 화학종별 이온화율에 대한 질문 [1] 437
820 ExB drift 식 유도 과정에서의 질문 [삼각함수의 위상각] [1] 449
819 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [초고밀도 플라즈마] [1] file 457
818 Ion 입사각을 확인하는 방법 문의드립니다 [식각 플라즈마의 가장자리 균일도 제어] [1] 458
817 RF sputtering reflect power에 대해서 질문 남깁니다. 458
816 Lxcat dataset에 따른 Plasma discharge에 대한 질문입니다. [CX 데이터] [1] 459

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