번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5808
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17215
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53065
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64485
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85100
698 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 18
697 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 40
696 ICP lower power 와 RF bias [1] 59
695 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 61
694 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 92
693 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 124
692 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 147
691 plasma modeling 관련 질문 [1] 151
690 ESC DC 전극 Damping 저항 160
689 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 169
688 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 182
687 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 207
686 RF Sputtering Target Issue [1] file 213
685 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 214
684 plasma striation 관련 문의 [1] file 219
683 Polymer Temp Etch [1] 220
682 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 231
681 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 232
680 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 234
679 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 241
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