번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5889
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17344
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53164
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65098
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85183
498 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 1022
497 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 1026
496 I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [1] 1034
495 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 1037
494 자기 거울에 관하여 1040
493 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 1048
492 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] 1054
491 Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] 1067
490 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] 1067
489 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 1077
488 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1097
487 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] 1125
486 플라즈마 기초입니다 [1] 1129
485 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 1143
484 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] 1153
483 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 1167
482 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1183
481 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 1184
480 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1195
479 DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] 1207

Boards


XE Login