ESC Si Wafer Broken

2018.08.01 11:16

장영구 조회 수:2472

안녕하세요. 반도체회사에 다니고 있습니다.

Plasma와 연관성이 없을 수 있는 질문인데요..

Si Wafer가 ESC Chucking  Voltage의 Damage(??)에 의해 Edge Broken이 발생할 수 있는지 궁금합니다. (2500v)

ESC를 사용하다가 1년 이상되면 Broken이 발생하고, Broken 주기는 점점 빨라집니다.

ESC의 오랜 사용에 의한 노화 현상은 맞는거 같은데 어떤 영향성으로 발생하는지 궁금해서요...(ESC 교체시 정상되네요)

Plasma On/Off와는 연관성이 없었습니다.



번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76538
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91694
484 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 1471
483 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1475
482 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 1477
481 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1484
480 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1518
479 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1549
478 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 1564
477 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1576
476 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1586
475 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] 1594
474 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] 1617
473 RF 전압과 압력의 영향? [1] 1630
472 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 1637
471 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 1655
470 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1662
469 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1667
468 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1677
467 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1683
466 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 1688
465 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 1696

Boards


XE Login