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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[143]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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378 |
Ta deposition시 DC Source Sputtreing
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377 |
플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요?
[1] | 2260 |
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376 |
임피던스 매칭회로
[1]  | 2268 |
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375 |
Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다.
[2] | 2271 |
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374 |
plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다.
[2] | 2309 |
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373 |
VI sensor를 활용한 진단 방법
[2] | 2347 |
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372 |
챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다.
[2] | 2410 |
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371 |
dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요?
[1] | 2424 |
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370 |
플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다.
[1] | 2447 |
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369 |
HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의
[1] | 2451 |
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368 |
산소양이온의 금속 전극 충돌 현상
[1] | 2453 |
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367 |
CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다.
[3] | 2481 |
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366 |
PR wafer seasoning
[1] | 2486 |
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365 |
진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해
[1] | 2490 |
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364 |
플라즈마 압력에 대하여
[1] | 2542 |
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363 |
HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요?
| 2542 |
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362 |
electron energy distribution에 대해서 질문드립니다.
[2] | 2593 |
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361 |
Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다.
[1] | 2652 |
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360 |
CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요?
[3] | 2683 |
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359 |
M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다.
[1] | 2751 |
