Etch RIE Gas 질문 하나 드려도될까요?

2023.08.30 08:55

윤성 조회 수:364

RIE(13.56Mhz) 설비 SET UP 도중 압력 0.2 Torr Gas SF6 30 Sccm 공정 조건에서 Matcher가 Matching position 을 잡지 못하고 흔들리는 현상으로 Matcher circuit에 Low pass filter 장착 후 그 현상이 사라 졌습니다.

위에 현상에 대한 정보가 부족 하지만 답변 주셔서 감사합니다.

 

특이사항이 CF4, Ar Gas 에서는 위에 현상이 나타나지않으며 SF6 가스에만 위에 현상이 나타나는건 Gas의 특성이라고 보면될까요? 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [299] 77701
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20705
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57634
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69131
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93372
756 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 319
755 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 330
754 ICP에서의 Self bias 효과 [1] 330
753 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [1] 331
752 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 332
751 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 336
750 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [2] 336
749 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] 344
748 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 350
747 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 351
746 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [1] file 362
» RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 364
744 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [1] 369
743 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 382
742 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] 390
741 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] 394
740 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] 397
739 chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] 399
738 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메카니즘에 대해 질문하고싶습니다. [1] 401
737 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 403

Boards


XE Login