안녕하세요 교수님 유용한 답변 항상 잘 활용하고 있습니다.

 

제가 부족한 점이 많아 자꾸만 여기에 여쭙게 되네요.

 

저는 CCP Plasma를 base로 하는 장비를 주력으로 다루고 있습니다. 

 

저희는 RF를 Showerhead에 걸어주는데요. 

 

이번에 TC를 통해서 Plasma가 켜졌을 때 Showerhead의 온도 동향을 파악하는 평가를 하려고 합니다.

 

그래서 Showerhead에 TC를 달아서 온도를 측정하려고 합니다.

 

그런데, 제가 알기로는 TC는 온도에 따라 다르게 형성되는 전압을 측정해 온도를 측정하는 것으로 알고있습니다.

 

그래서 Showerhead에 강한 Power(2000~3000W)를 걸어주었을 때 TC에 어떤 문제가 생기지는 않을까 걱정이 됩니다.

 

교수님은 어떻게 생각하시는지요?

 

혹은 추천해주실만한 다른 측정법이 있으신지 궁금합니다.

 

항상 감사합니다!

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [128] 5589
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16863
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51344
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64195
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84173
611 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 476
610 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 481
609 etch defect 관련 질문드립니다 [1] 486
608 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 488
607 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 491
606 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [1] 503
605 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 506
604 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 508
603 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 508
602 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 509
601 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 509
600 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 510
599 anode sheath 질문드립니다. [1] 510
» RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 519
597 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 521
596 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 531
595 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 541
594 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 546
593 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 548
592 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 552

Boards


XE Login