Plasma in general RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다

2018.12.30 00:14

시쿠임 조회 수:801

안녕하세요 반도체회사에서 일하는 엔지니어입니다.

RF MATCHING NETWORK에 대해 독학을 하고 싶은데 관련 교재 추천 부탁드리겠습니다.


감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [220] 75427
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19163
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56479
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67558
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 89368
628 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 636
627 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 641
626 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 645
625 라디컬의 재결합 방지 [1] 652
624 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 666
623 교수님 질문이 있습니다. [1] 667
622 ICP 후 변색 질문 669
621 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 679
620 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 680
619 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 682
618 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 687
617 RF 파워서플라이 매칭 문제 691
616 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 693
615 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] 695
614 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 701
613 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 705
612 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 707
611 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 710
610 Collisional mean free path 문의... [1] 722
609 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 725
쓰기
태그

Boards

XE Login