안녕하세요. 경희대학교에서 플라즈마에 대한 학부연구를 진행하고 있는 박준우라고 합니다.

플라즈마의 전자 온도에 대한 간단한 질문이 있어 QNA 드립니다.

 

플라즈마 내의 전자가 물질(substrate)과 충돌했을 때, 맞은 substrate의 전자도 온도가 올라가는 것으로 알고 있습니다.

이 때 일반적으로 진공에 떠돌아 다니는 전자의 온도와, substrate의 전자 온도의 정의를 똑같이 할 수가 없다고 하는데, 정확히 어떻게 정의가 달라지는지 궁금하여 질문 드립니다.

 

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76685
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20152
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57159
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68680
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92210
647 RF 주파수에 따른 차이점 [1] 692
646 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 693
645 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 694
644 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 697
643 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 702
642 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 706
641 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 706
640 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 709
639 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 712
638 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] 712
637 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 718
636 ICP 후 변색 질문 723
635 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 723
634 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 734
633 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 734
632 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 735
631 교수님 질문이 있습니다. [1] 740
630 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 751
629 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 753
628 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] 753

Boards


XE Login