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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 62988
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476 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 954
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474 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 963
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471 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 976
470 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 977

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