Others Plasma Gas의 차이점
2009.10.16 04:38
안녕하세요
저는 플라즈마 실무를 이제 막 접하게 된 직장인입니다
화공과를 나왔지만 회사에서 주어진 일이라 어쩔 수 없이 플라즈마를 담당하게 되었습니다
Plasma에 사용하는 Gas가 여러가지가 있던데 차이점이 무엇인지 알 수 있을까요?
예를 들어,
Ar, O2, CF4, H2N2 등을 사용하는데 언제 이 가스들을 사용해야 하는지 알 수가 없습니다
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] | 76692 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20152 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57159 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68680 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92218 |
287 | Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] | 8917 |
286 | RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] | 8976 |
285 | 안녕하세요 교수님. [1] | 9022 |
284 | 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [1] | 9222 |
283 | 공기정화기, 표면개질, PDP. 플라즈마응용 | 9261 |
282 | 에칭후 particle에서 발생하는 현상 | 9504 |
281 | Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] | 9515 |
280 | 대기압 플라즈마에 대해서 | 9632 |
279 | 수중 방전 관련 질문입니다. [1] | 9661 |
278 | 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. | 9842 |
277 | ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] | 9846 |
276 | 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] | 9954 |
275 | 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [1] | 10295 |
274 | matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] | 10329 |
273 | Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] | 10350 |
272 | 플라즈마 PIC 질문드립니다. [1] | 10375 |
271 | RGA에 대해서 | 10539 |
270 | DC bias (Self bias) [3] | 11250 |
269 | Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] | 11285 |
268 | N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [1] | 11388 |