ICP ICP 플라즈마에 관해서
2004.06.19 15:58
안녕하세요.
늘 이곳에 와서 질문-응답의 열띤 글들과 학회 방문기를 잘 읽었는데 모두 없어졌다니 너무 가슴이 아프네요.
예전에 있었던 내용인 것 같은데 최근 실험을 하다가 부딪히게 되어 질문을 드립니다. 그때 미리 보았으면 좋았을 텐데.
ICP 플라즈마를 발생시킴에 있어서 CCP mode 와 ICP mode 의 차이가 어떻게 다른 것인지요? CCP mode를 마치 흔히 사용하듯이 기판(평판 기판)에 바이어스를 걸어줄때 발생하는 플라즈마처럼 생각하면 되는지요?
그리고 또하나 Matching box 에서 capacitance 를 접지시킬때와 그렇지 않은 경우 어떻게 차이가 나는지요?
댓글 2
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] | 76539 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20076 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57115 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68613 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 91695 |
123 | wafer 전하 소거: 경험 있습니다. | 20477 |
122 | 확산펌프 | 20504 |
121 | 플라즈마 진단법에 대하여 [1] | 20542 |
120 | Lissajous figure에 대하여.. | 20612 |
119 | Three body collision process | 20634 |
118 | 이온주입량에 대한 문의 | 20723 |
117 | 교재구입 | 20724 |
116 | IEDF EQP에 대한 답변 | 20800 |
115 | plasma cleanning에 관하여.... | 20826 |
114 | UBM 스퍼터링 장비로... [1] | 20885 |
113 | RF plasma에 대해서 질문드립니다. [2] | 20936 |
112 | 대기압플라즈마 진단 | 21020 |
111 | 플라즈마란? | 21048 |
110 | 전자파 누설에 관해서 질문드립니다. [1] | 21098 |
109 | ICP 플라즈마 매칭 문의 [2] | 21182 |
108 | Xe 기체를 사용한 플라즈마 응용 | 21307 |
107 | 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서... [1] | 21324 |
106 | 플라즈마 측정기 [1] | 21329 |
105 | Breakdown에 대해 | 21332 |
104 | 플라즈마 실험 | 21338 |