Others RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동
2009.08.05 12:52
수고가 많으십니다.
저희 회사는 반도체, LCD장비 제작 회사들로 Motion Controller와 Servo ,Step Motor등을 공급하는 회사입니다.
업체 상담중에 문의사항이 있어서 조언을 구하고자 질문을 올려 드립니다.
Sputter 장비의 vacuum정도는 10 -3 torr, 공정온도는 약 100 도 정도입니다. Chamber내부에서 Motion을 구현 하고자 합니다. Chamber내부에 Vacuum용 모터를 사용하고자는데 RF 플라즈마에 의한 노이즈로 Motor 사용에 대한 부분을 우려하고 있습니다. 일반적으로 Chamber 외부로 Motion부분을 빼내어 메탈 벨로우즈를 이용한 방법으로 Motion을 사용한다고 하는데, Vacuum용 Motor를 RF 플라즈마 챔버내에서 사용하는 것이 가능한지 가능하다면 어떤 방법이 있는지 답변 부탁드립니다.
그럼 수고하십시요.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] | 76540 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20076 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57115 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68615 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 91695 |
123 | wafer 전하 소거: 경험 있습니다. | 20477 |
122 | 확산펌프 | 20504 |
121 | 플라즈마 진단법에 대하여 [1] | 20542 |
120 | Lissajous figure에 대하여.. | 20612 |
119 | Three body collision process | 20634 |
118 | 이온주입량에 대한 문의 | 20723 |
117 | 교재구입 | 20724 |
116 | IEDF EQP에 대한 답변 | 20800 |
115 | plasma cleanning에 관하여.... | 20826 |
114 | UBM 스퍼터링 장비로... [1] | 20886 |
113 | RF plasma에 대해서 질문드립니다. [2] | 20936 |
112 | 대기압플라즈마 진단 | 21020 |
111 | 플라즈마란? | 21048 |
110 | 전자파 누설에 관해서 질문드립니다. [1] | 21098 |
109 | ICP 플라즈마 매칭 문의 [2] | 21183 |
108 | Xe 기체를 사용한 플라즈마 응용 | 21307 |
107 | 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서... [1] | 21324 |
106 | 플라즈마 측정기 [1] | 21329 |
105 | Breakdown에 대해 | 21333 |
104 | 플라즈마 실험 | 21338 |